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渦(wo)輪(lun)分(fen)子泵(beng)

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極(ji)限壓(ya)強(qiang)：5×10-6 Pa
最(zui)大前級(ji)壓力(li)：4000Pa
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抽氣(qi)速率(lv)：600L/s
極(ji)限壓(ya)強(qiang)：5×10-6 Pa
最(zui)大前級壓力：4000Pa
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抽(chou)氣(qi)速率(lv)：2000L/s
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極(ji)限壓強(qiang)：5×10-7 Pa
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爲(wei)真(zhen)空而(er)生

設備分(fen)類(lei)